全系产品 · 品质之选
历经10年努力，我们在吸取美、日、德等国的先进技术的同时，自主创新和加强研发的基础上；
自主研发了多品种多系列的自动化设备控制系统，成为半导体行业工控电子产品优质供应商，获得客户好评。
自主研发了多品种多系列的自动化设备控制系统，成为半导体行业工控电子产品优质供应商，获得客户好评。
产品系列
当前类别：半导体产品
HOT N2控制器
我司开发的HOT N2 SYSTEM 将加热后的N2项射到管道内部，最大限度地抑制皆道内部By-Product的生成，降低Pump到Scrubber的堵塞现象，减少设备及管道的Maintenance，提高生产效率。 ...
相关关键词：
HOT N2控制器
一般来说，半导体和LCD工艺中使用Gas (SiH 4 ，PH3，AsH 3--- 的特性上大部分都是盲毒性Gas或危险性Gas，因此，制造过程后排出的有毒Gas必须通过处理装爱未减轻及稀轻其特性，通用Gas处理设各一般被称为皮Gas处理设各 (Scrubber) ，有毒Gas到达Scrubber之前产生的副产物By-Product (Powder] ，具有粘附性和腐蚀性长时间使用， By-Product渐渐堵离管道内部，所造成的压力损失会导致管道内部的Cleaning主机缩短和Pump Down，同时存在安全事故的危险。我司开发的HOT N2 SYSTEM 将加热后的N2项射到管道内部，最大限度地抑制皆道内部By-Product的生成，降低Pump到Scrubber的堵塞现象，减少设备及管道的Maintenance，提高生产效率。
